新型薄膜锂离子太阳 是甚么太阳 ？
锂离子太阳 的超小型化设想持久以来都是一个搅扰锂离子太阳 成长的困难，薄膜锂离子太阳 实质下去讲是一种接纳固态电解质的全固态太阳 。薄膜锂离子太阳 的设想出产近似于锂离子半导体集成电路，须要利用到紫外光刻蚀手艺，可是光刻进程中利用的无机/无机化学试剂会对薄膜锂离子太阳 的正极资料LiMn2O4资料布局产生粉碎，影响锂离子太阳 的机能。
薄膜锂离子太阳 须要起首在硬质基体长停止制备，而后再转移到柔性材质上。为了晋升太阳 的机能，并削减光刻进程中对LMO资料的粉碎，间接在全部基体上堆积了一层LiPON电解质，而后接纳SiO2对须要的局部停止掩护，接纳等离子体停止干法刻蚀，这一进程中不会用到光刻溶液，从而防止了对LMO资料的粉碎。
实现太阳 制备后，还须要将太阳 从Si/SiO2基体上剥离到柔性衬底上，接纳聚二甲基硅氧烷PDMS作为剥离资料，将PDMS旋涂到上述太阳 上，25℃键合24h后将上述制备的太阳 从Si/SiO2基体上剥离上去，而后经由进程电子束真空蒸镀的体例在PDMS的外表堆积一层SiO2。
在曩昔的很多研讨中都标明LMO资料在光刻进程中利用的无机和无机溶液中会产生O2的开释，从而形成晶体布局的衰变，进而影响资料的电机能。是以经由进程转变太阳 布局设想和接纳干法腐蚀工艺，防止了光刻溶剂对LMO资料的粉碎。
初期的研讨偏向于将接纳晶态LMO资料，可是更多的研讨标明晶态LMO资料因为不可逆相变的缘由，在容量衰降和轮回机能存在一系列的题目，是以为了改良太阳 的机能，能够接纳非晶态的LMO资料。
对LiPON电解质而言，晶态和非晶态的挑选也很是首要，因为有研讨标明晶态LiPON资料会致使资料的离子电导率下降，从而影响电解质薄膜的电化学特征。
经由进程对照了重叠式布局战争行式两种布局对锂离子太阳 的电机能影响，重叠式太阳 布局的充电电压平台在3.3V摆布，可是在放电的进程中太阳 的电压衰降很是快，正极的比容量仅为10mAh/g摆布，这能够是因为在光刻进程中利用的无机/无机溶液对LMO资料的粉碎，致使其没法再次嵌锂。接纳平行式布局和干法刻蚀工艺防止了光刻溶液对LMO资料的粉碎，是以平行式布局太阳 具备很是好的充放电曲线，充电电压平台在3.7V摆布，比容量也到达了150mAh/g。颠末13uA/cm2的小电流密度对太阳 停止了轮回测试，标明平行式太阳 布局具备很是好的不变性。
经由进程将薄膜微型锂离子太阳 原本的重叠式太阳 布局转变为平行式太阳 布局，并对原本的光刻工艺停止优化，接纳干法刻蚀替换了传统的光刻溶液，从而防止了无机/无机光刻溶液对LMO资料的粉碎，晋升微型锂离子太阳 的电化学机能微型薄膜锂离子太阳 因为细小的尺寸合适利用在一些对电流请求较低的微型机械机构中，比方微型医疗机械人，具备广漠的利用远景。
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